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Hammer質量流量控制器

更新時間╃▩◕:2023-01-05

簡要描述╃▩◕:

Hammer質量流量控制器Z小控制量程低至0-0.5SCCM◕•│✘◕,採用層流差壓原理◕•│✘◕,可本地顯示溫度◕•│✘◕,絕壓◕•│✘◕,質量流量和體積流量◕•│✘◕,耐壓1MPa◕•│✘◕,低壓差條件下亦可使用₪·₪。內建130種氣體◕•│✘◕,大大節約使用者成本₪·₪。反應時間快₪·₪。

  免費諮詢╃▩◕:86-10-87241391

  發郵件給我們╃▩◕:info@hammertech.com.cn

一╃╃·、Hammer質量流量控制器系列

MC 標準系列

控制響應快╃╃·、穩定的流量控制器₪·₪。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體₪·₪。艾裡卡特®R系列閥門為無摩擦閥門◕•│✘◕,可精密控制大流量的氣體流量◕•│✘◕,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門₪·₪。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響◕•│✘◕,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾裡卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力◕•│✘◕,是航空航天╃╃·、環境氣體分析等應用的選擇;大量程╃▩◕:0-500 slpm₪·₪。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構₪·₪。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業系列

可快速╃╃·、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器◕•│✘◕,可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容◕•│✘◕,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準₪·₪。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ◕•│✘◕,專門用於真空應用₪·₪。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS₪·₪。大量程╃▩◕:0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向◕•│✘◕,可正向或反向控制氣體流量₪·₪。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列₪·₪。  點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列

二╃╃·、質量流量控制器常用選配項

?     後置閥門◕•│✘◕,最佳化真空及背壓應用的控制

?     批次控制模式◕•│✘◕,依靠快速的閥門響應來分配流量◕•│✘◕,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許裝置用於危險環境

?     9針或15針D-Sub等連線介面可選

?     通訊模式有Modbus-RTU╃╃·、RS-232╃╃·、RS-485╃╃·、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合

三╃╃·、Hammer質量流量控制器效能引數

指標

MFC

量程

0.5SCCM◕•│✘◕,1SCCM◕•│✘◕,2SCCM◕•│✘◕,5SCCM◕•│✘◕,10SCCM◕•│✘◕,50SCCM◕•│✘◕,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度╃▩◕:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重複性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度範圍

-10~50

零點漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

溼度範圍

0-100%

測量流量範圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出訊號(數字)

質量流量╃╃·、體積流量╃╃·、壓力和溫度

數字訊號可選

RS485◕•│✘◕,Modbus◕•│✘◕,Profibus

輸出訊號(模擬)

質量流量╃╃·、體積流量╃╃·、壓力和溫度

模擬訊號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC◕•│✘◕,4-20mA

電氣連線

8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為╃▩◕:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為╃▩◕:0.055A)

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