更新時間╃▩◕：2023-01-05
Hammer質量流量控制器Z小控制量程低至0-0.5SCCM◕•│✘◕，採用層流差壓原理◕•│✘◕，可本地顯示溫度◕•│✘◕，絕壓◕•│✘◕，質量流量和體積流量◕•│✘◕，耐壓1MPa◕•│✘◕，低壓差條件下亦可使用₪·₪。內建130種氣體◕•│✘◕，大大節約使用者成本₪·₪。反應時間快₪·₪。
免費諮詢╃▩◕：86-10-87241391
一╃╃·、Hammer質量流量控制器系列
MC 標準系列
控制響應快╃╃·、穩定的流量控制器₪·₪。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體₪·₪。艾裡卡特®R系列閥門為無摩擦閥門◕•│✘◕，可精密控制大流量的氣體流量◕•│✘◕，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門₪·₪。
MCW / MCRW 低壓損系列
大限度減小壓損對系統的影響◕•│✘◕，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾裡卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力◕•│✘◕，是航空航天╃╃·、環境氣體分析等應用的選擇；大量程╃▩◕：0-500 slpm₪·₪。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構₪·₪。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業系列
可快速╃╃·、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器◕•│✘◕，可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容◕•│✘◕，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準₪·₪。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ◕•│✘◕，專門用於真空應用₪·₪。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS₪·₪。大量程╃▩◕：0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
*雙向◕•│✘◕，可正向或反向控制氣體流量₪·₪。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列₪·₪。 點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列
二╃╃·、質量流量控制器常用選配項
? 後置閥門◕•│✘◕，最佳化真空及背壓應用的控制
? 批次控制模式◕•│✘◕，依靠快速的閥門響應來分配流量◕•│✘◕，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許裝置用於危險環境
? 9針或15針D-Sub等連線介面可選
? 通訊模式有Modbus-RTU╃╃·、RS-232╃╃·、RS-485╃╃·、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合
三╃╃·、Hammer質量流量控制器效能引數
| 指標 | MFC |
| 量程 | 0.5SCCM◕•│✘◕，1SCCM◕•│✘◕，2SCCM◕•│✘◕，5SCCM◕•│✘◕，10SCCM◕•│✘◕，50SCCM◕•│✘◕，100SCCM....20SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度╃▩◕：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
| 重複性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時間 | 100ms |
| 標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度範圍 | -10～50 |
| 零點漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 溼度範圍 | 0-100% |
| 測量流量範圍 | 128％（過流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出訊號（數字） | 質量流量╃╃·、體積流量╃╃·、壓力和溫度 |
| 數字訊號可選 | RS485◕•│✘◕，Modbus◕•│✘◕，Profibus |
| 輸出訊號（模擬） | 質量流量╃╃·、體積流量╃╃·、壓力和溫度 |
| 模擬訊號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC◕•│✘◕，4-20mA |
| 電氣連線 | 8針/9針/15針（根據不同型別流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為╃▩◕：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為╃▩◕：0.055A） |
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